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更新时间:2025-07-17
厂商性质:经销商
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
参数类别 | 详细规格 |
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型号 | 61332-KEAF-0001 |
类型 | 气动驱动高真空蝶形控制阀(金属密封) |
真空范围 | 工作压力:10⁻⁹ mbar 至 大气压(兼容超高真空/XHV) |
漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封版) |
温度范围 | -20°C 至 +150°C(标准)/ 可选高温版至 +250°C(金属密封) |
阀体材质 | 316L不锈钢(电解抛光,表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm) |
密封材质 | 标准:全金属密封(无弹性体) 可选:氟橡胶(FKM,适用于非等离子体环境) |
驱动方式 | 气动执行(单作用弹簧复位/双作用) 响应时间:<100 ms(全开至全关) |
法兰标准 | ISO-KF、CF 或定制法兰(SEMI标准兼容) |
控制信号 | 可选:4-20mA模拟量反馈、数字信号(RS485) |
蝶板设计:
采用低惯量钛合金蝶板,减少颗粒生成,适合洁净环境(符合SEMI F47标准)。
动态平衡结构,降低气流扰动对晶圆工艺的影响。
密封技术:
金属密封:金包覆不锈钢密封圈,耐高温烘烤(≤150°C持续),抗等离子体腐蚀。
弹性体密封(可选):FKM材质,适用于非腐蚀性气体环境(漏率略高,约10⁻⁷ mbar·l/s)。
气动模块:
标配气压范围:4-6 bar(干燥空气或氮气驱动)。
可选防爆设计(ATEX认证)。
位置反馈:
高精度电位器或霍尔传感器,实时监控阀门开度(精度±0.5%)。
Cv值:0.8(全开时,介质为空气)。
流量调节比:100:1(线性控制区间)。
真空级别 | 漏率要求 | 61332-KEAF-0001实测数据 |
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高真空(HV) | <10⁻⁶ mbar·l/s | <5×10⁻⁹ mbar·l/s |
超高真空(XHV) | <10⁻⁹ mbar·l/s | <1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封) |
工艺设备 | 功能角色 | 配套型号要求 |
---|---|---|
刻蚀机(Etch) | 腐蚀性气体隔离(Cl₂/HBr) | 金属密封+等离子体防护涂层 |
ALD/CVD | 前驱体气体精准控制 | 快速响应(<50 ms)+高线性度 |
离子注入机 | 束线真空隔离 | 超高真空密封(XHV级) |
晶圆传输模块 | Loadlock快速抽真空 | 大口径(可选VAT 48系列配合) |
气体介质:
兼容腐蚀性气体(WF₆、NH₃、SiH₄等),需指定镀层(如PTFE或Al₂O₃)。
颗粒控制:
符合ISO 14644-1 Class 4洁净度要求(每立方米≤3520颗粒,粒径≥0.5 μm)。
法兰对接:
使用无应力安装工具,避免阀体变形(扭矩限制:≤10 Nm)。
气路连接:
气源需配备0.1 μm过滤器,防止颗粒污染。
常规检查:
每3个月检查密封面磨损(金属密封寿命约10⁶次循环)。
深度维护:
每2年或50万次循环后更换密封圈(原厂维修包编号:VAT-MK-61332)。
优势供应:
商品编号61338-PEAE-0001
商品编号61348-PECN-0001
商品编号61340-PECE-0001
商品编号61344-PAAX-0001
商品编号61344-PEAX-0001
商品编号 61350-PAAK-0001
商品编号61338-PAAN-0001
商品编号61348-PAAQ-0001
61336-PACX-0001
61336-PACE-0001
61348-PEAQ-0001
61340-PECX-0001
61340-PACF-0001
61350-PAGQ-0001
61344-PACQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
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