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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
产品简介:

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
产品基本信息
型号:61332-KEAF-0001

品牌:VAT Group(瑞士,真空阀领域)

类型:高真空蝶形控制阀(气动驱动,金属密封)

产品型号:

更新时间:2025-07-17

厂商性质:经销商

访 问 量 :1649

服务热线

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产品介绍

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001

1. 核心参数概览

参数类别详细规格
型号61332-KEAF-0001
类型气动驱动高真空蝶形控制阀(金属密封)
真空范围工作压力:10⁻⁹ mbar 至 大气压(兼容超高真空/XHV)
漏率<1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封版)
温度范围-20°C 至 +150°C(标准)/ 可选高温版至 +250°C(金属密封)
阀体材质316L不锈钢(电解抛光,表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm)
密封材质标准:全金属密封(无弹性体)
可选:氟橡胶(FKM,适用于非等离子体环境)
驱动方式气动执行(单作用弹簧复位/双作用)
响应时间:<100 ms(全开至全关)
法兰标准ISO-KF、CF 或定制法兰(SEMI标准兼容)
控制信号可选:4-20mA模拟量反馈、数字信号(RS485)

2. 机械与结构设计

阀体与密封系统

  • 蝶板设计

    • 采用低惯量钛合金蝶板,减少颗粒生成,适合洁净环境(符合SEMI F47标准)。

    • 动态平衡结构,降低气流扰动对晶圆工艺的影响。

  • 密封技术

    • 金属密封:金包覆不锈钢密封圈,耐高温烘烤(≤150°C持续),抗等离子体腐蚀。

    • 弹性体密封(可选):FKM材质,适用于非腐蚀性气体环境(漏率略高,约10⁻⁷ mbar·l/s)。

执行机构

  • 气动模块

    • 标配气压范围:4-6 bar(干燥空气或氮气驱动)。

    • 可选防爆设计(ATEX认证)。

  • 位置反馈

    • 高精度电位器或霍尔传感器,实时监控阀门开度(精度±0.5%)。


3. 性能曲线与关键指标

流量特性

  • Cv值:0.8(全开时,介质为空气)。

  • 流量调节比:100:1(线性控制区间)。

真空保持能力

真空级别漏率要求61332-KEAF-0001实测数据
高真空(HV)<10⁻⁶ mbar·l/s<5×10⁻⁹ mbar·l/s
超高真空(XHV)<10⁻⁹ mbar·l/s<1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封)

4. 半导体行业应用详解

典型设备集成

工艺设备功能角色配套型号要求
刻蚀机(Etch)腐蚀性气体隔离(Cl₂/HBr)金属密封+等离子体防护涂层
ALD/CVD前驱体气体精准控制快速响应(<50 ms)+高线性度
离子注入机束线真空隔离超高真空密封(XHV级)
晶圆传输模块Loadlock快速抽真空大口径(可选VAT 48系列配合)

兼容性数据

  • 气体介质

    • 兼容腐蚀性气体(WF₆、NH₃、SiH₄等),需指定镀层(如PTFE或Al₂O₃)。

  • 颗粒控制

    • 符合ISO 14644-1 Class 4洁净度要求(每立方米≤3520颗粒,粒径≥0.5 μm)。


5. 安装与维护指南

安装要点

  1. 法兰对接

    • 使用无应力安装工具,避免阀体变形(扭矩限制:≤10 Nm)。

  2. 气路连接

    • 气源需配备0.1 μm过滤器,防止颗粒污染。

维护周期

  • 常规检查

    • 每3个月检查密封面磨损(金属密封寿命约10⁶次循环)。

  • 深度维护

    • 每2年或50万次循环后更换密封圈(原厂维修包编号:VAT-MK-61332)。

      优势供应:

    商品编号61338-PEAE-0001

    商品编号61348-PECN-0001

    商品编号61340-PECE-0001

    商品编号61344-PAAX-0001

    商品编号61344-PEAX-0001

    商品编号 61350-PAAK-0001

    商品编号61338-PAAN-0001

    商品编号61348-PAAQ-0001

     61336-PACX-0001

     61336-PACE-0001

    61348-PEAQ-0001

    61340-PECX-0001

    61340-PACF-0001

    61350-PAGQ-0001

    61344-PACQ-0001


瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001


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