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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
| 参数类别 | 详细规格 |
|---|---|
| 型号 | 61332-KEAF-0001 |
| 类型 | 气动驱动高真空蝶形控制阀（金属密封） |
| 真空范围 | 工作压力：10⁻⁹ mbar 至 大气压（兼容超高真空/XHV） |
| 漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封版） |
| 温度范围 | -20°C 至 +150°C（标准）/ 可选高温版至 +250°C（金属密封） |
| 阀体材质 | 316L不锈钢（电解抛光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm） |
| 密封材质 | 标准：全金属密封（无弹性体） 可选：氟橡胶（FKM，适用于非等离子体环境） |
| 驱动方式 | 气动执行（单作用弹簧复位/双作用） 响应时间：<100 ms（全开至全关） |
| 法兰标准 | ISO-KF、CF 或定制法兰（SEMI标准兼容） |
| 控制信号 | 可选：4-20mA模拟量反馈、数字信号（RS485） |
蝶板设计：
采用低惯量钛合金蝶板，减少颗粒生成，适合洁净环境（符合SEMI F47标准）。
动态平衡结构，降低气流扰动对晶圆工艺的影响。
密封技术：
金属密封：金包覆不锈钢密封圈，耐高温烘烤（≤150°C持续），抗等离子体腐蚀。
弹性体密封（可选）：FKM材质，适用于非腐蚀性气体环境（漏率略高，约10⁻⁷ mbar·l/s）。
气动模块：
标配气压范围：4-6 bar（干燥空气或氮气驱动）。
可选防爆设计（ATEX认证）。
位置反馈：
高精度电位器或霍尔传感器，实时监控阀门开度（精度±0.5%）。
Cv值：0.8（全开时，介质为空气）。
流量调节比：100:1（线性控制区间）。
| 真空级别 | 漏率要求 | 61332-KEAF-0001实测数据 |
|---|---|---|
| 高真空（HV） | <10⁻⁶ mbar·l/s | <5×10⁻⁹ mbar·l/s |
| 超高真空（XHV） | <10⁻⁹ mbar·l/s | <1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封） |
| 工艺设备 | 功能角色 | 配套型号要求 |
|---|---|---|
| 刻蚀机（Etch） | 腐蚀性气体隔离（Cl₂/HBr） | 金属密封+等离子体防护涂层 |
| ALD/CVD | 前驱体气体精准控制 | 快速响应（<50 ms）+高线性度 |
| 离子注入机 | 束线真空隔离 | 超高真空密封（XHV级） |
| 晶圆传输模块 | Loadlock快速抽真空 | 大口径（可选VAT 48系列配合） |
气体介质：
兼容腐蚀性气体（WF₆、NH₃、SiH₄等），需指定镀层（如PTFE或Al₂O₃）。
颗粒控制：
符合ISO 14644-1 Class 4洁净度要求（每立方米≤3520颗粒，粒径≥0.5 μm）。
法兰对接：
使用无应力安装工具，避免阀体变形（扭矩限制：≤10 Nm）。
气路连接：
气源需配备0.1 μm过滤器，防止颗粒污染。
常规检查：
每3个月检查密封面磨损（金属密封寿命约10⁶次循环）。
深度维护：
每2年或50万次循环后更换密封圈（原厂维修包编号：VAT-MK-61332）。
优势供应：
商品编号61338-PEAE-0001
商品编号61348-PECN-0001
商品编号61340-PECE-0001
商品编号61344-PAAX-0001
商品编号61344-PEAX-0001
商品编号 61350-PAAK-0001
商品编号61338-PAAN-0001
商品编号61348-PAAQ-0001
61336-PACX-0001
61336-PACE-0001
61348-PEAQ-0001
61340-PECX-0001
61340-PACF-0001
61350-PAGQ-0001
61344-PACQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
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