PRODUCTS CENTER

产品展示

当前位置:首页产品展示瑞士VAT瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
产品简介:

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
产品基本信息
型号:61348-PEGH-0001

类型:高真空蝶形控制阀(Pneumatically Actuated)

制造商:VAT Group(瑞士)

系列:61系列(高性能蝶阀,适用于严苛环境)

产品型号:

更新时间:2025-07-17

厂商性质:经销商

访 问 量 :1369

服务热线

15214375780

立即咨询
产品介绍

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001

1. 产品基本信息

  • 型号:61348-PEGH-0001

  • 类型:高真空蝶形控制阀(Pneumatically Actuated)

  • 制造商:VAT Group(瑞士)

  • 系列:61系列(高性能蝶阀,适用于严苛环境)


2. 关键性能参数

真空与密封性能

  • 真空范围

    • 工作压力:10⁻⁹ mbar 至 大气压(超高真空兼容)

    • 漏率:<1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封版)

  • 密封选项

    • 标准:氟橡胶(FKM,耐等离子体腐蚀)

    • 可选:全金属密封(无弹性体,适用于高温/强腐蚀环境)

机械与材料特性

  • 阀体材质:不锈钢 316L(表面电解抛光,Ra ≤ 0.8 μm)

  • 法兰标准:ISO-KF、CF 或定制法兰(SEMI标准兼容)

  • 驱动方式:气动执行(单/双作用可选)

  • 响应时间:<100 ms(全开至全关)

温度适应性

  • 标准温度:-20°C 至 +150°C

  • 高温版本:可选 +250°C(需指定金属密封)

  • 烘烤兼容性:支持 ≤150°C 持续烘烤


3. 半导体行业典型应用

  • 刻蚀设备(Etch)

    • 用于 Cl₂、HBr、SF₆ 等腐蚀性气体隔离,耐等离子体侵蚀。

  • 薄膜沉积(CVD/ALD/PVD)

    • 快速调节反应气体流量,金属密封版适用于WF₆等高活性前驱体。

  • 离子注入(Implant)

    • 超高真空隔离,确保束线洁净度。

  • 晶圆传输系统

    • 负载锁(Loadlock)与传输腔室之间的快速压力控制。


4. 型号对比与替代参考

特性61348-PEGH-0001VAT 47.1(直通阀)VAT 54.1(角阀)
阀体类型蝶形阀(流量调节)直通阀(隔离)角阀(隔离)
速度超快(<100 ms)快(200 ms)中等(500 ms)
密封选项FKM/金属密封弹性体密封金属密封
适用场景动态气体控制真空隔离高真空隔离

5. 安装与维护指南

安装注意事项

  • 法兰对齐:需使用无应力安装工具,避免阀体变形影响密封。

  • 气源要求:驱动气压 4–6 bar(需洁净干燥空气或氮气)。

  • 测试:空载开闭循环 ≥3 次,确认无卡滞。

维护建议

  • 常规检查

    • 每3个月检查密封面洁净度(可用IPA擦拭)。

    • 每6个月测试漏率(氦质谱检漏仪)。

  • 寿命指标

    • 弹性体密封:约50万次循环。

    • 金属密封:>100万次循环(需定期润滑)。

常见故障处理

  • 问题:阀门响应慢
    → 检查气源压力或执行机构是否泄漏。

  • 问题:真空漏率升高
    → 清洁密封面或更换密封圈(避免使用尖锐工具)。

  • 特殊说明

  • 定制选项

    • 可提供带位置反馈(模拟量/数字信号)版本。

    • 支持氟化涂层(如PTFE)以增强耐腐蚀性。

  • 交期

    • 标准型号:8–12周(瑞士生产);

    • 紧急订单:可联系VAT亚洲仓库(新加坡/上海)查询库存。

      常供货型号:

      商品编号61340-PACE-0001

    • 商品编号61348-PACN-0001

    • 商品编号61338-PEAN-0001

    • 商品编号61348-PAAF-0001

    • 商品编号61346-PAGQ-0001

    • 商品编号61346-PEGQ-0001

    • 商品编号61348-PEAF-0001

    • 商品编号61332-KEAF-0001

    • 商品编号61338-PEAE-0001

    • 商品编号61348-PECN-0001

    • 商品编号61340-PECE-0001

    • 商品编号61344-PAAX-0001

    • 商品编号61344-PEAX-0001

    • 商品编号61350-PAAK-0001

    • 商品编号61338-PAAN-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001

在线留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
服务热线 15214375780
Copyright © 2025上海茂硕机械设备有限公司 All Rights Reserved    备案号:沪ICP备18010475号-7