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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
访 问 量 ：1369
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
型号：61348-PEGH-0001
类型：高真空蝶形控制阀（Pneumatically Actuated）
制造商：VAT Group（瑞士）
系列：61系列（高性能蝶阀，适用于严苛环境）
真空范围：
工作压力：10⁻⁹ mbar 至 大气压（超高真空兼容）
漏率：<1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封版）
密封选项：
标准：氟橡胶（FKM，耐等离子体腐蚀）
可选：全金属密封（无弹性体，适用于高温/强腐蚀环境）
阀体材质：不锈钢 316L（表面电解抛光，Ra ≤ 0.8 μm）
法兰标准：ISO-KF、CF 或定制法兰（SEMI标准兼容）
驱动方式：气动执行（单/双作用可选）
响应时间：<100 ms（全开至全关）
标准温度：-20°C 至 +150°C
高温版本：可选 +250°C（需指定金属密封）
烘烤兼容性：支持 ≤150°C 持续烘烤
刻蚀设备（Etch）：
用于 Cl₂、HBr、SF₆ 等腐蚀性气体隔离，耐等离子体侵蚀。
薄膜沉积（CVD/ALD/PVD）：
快速调节反应气体流量，金属密封版适用于WF₆等高活性前驱体。
离子注入（Implant）：
超高真空隔离，确保束线洁净度。
晶圆传输系统：
负载锁（Loadlock）与传输腔室之间的快速压力控制。
| 特性 | 61348-PEGH-0001 | VAT 47.1（直通阀） | VAT 54.1（角阀） |
|---|---|---|---|
| 阀体类型 | 蝶形阀（流量调节） | 直通阀（隔离） | 角阀（隔离） |
| 速度 | 超快（<100 ms） | 快（200 ms） | 中等（500 ms） |
| 密封选项 | FKM/金属密封 | 弹性体密封 | 金属密封 |
| 适用场景 | 动态气体控制 | 真空隔离 | 高真空隔离 |
法兰对齐：需使用无应力安装工具，避免阀体变形影响密封。
气源要求：驱动气压 4–6 bar（需洁净干燥空气或氮气）。
测试：空载开闭循环 ≥3 次，确认无卡滞。
常规检查：
每3个月检查密封面洁净度（可用IPA擦拭）。
每6个月测试漏率（氦质谱检漏仪）。
寿命指标：
弹性体密封：约50万次循环。
金属密封：>100万次循环（需定期润滑）。
问题：阀门响应慢
→ 检查气源压力或执行机构是否泄漏。
问题：真空漏率升高
→ 清洁密封面或更换密封圈（避免使用尖锐工具）。
定制选项：
可提供带位置反馈（模拟量/数字信号）版本。
支持氟化涂层（如PTFE）以增强耐腐蚀性。
交期：
标准型号：8–12周（瑞士生产）；
紧急订单：可联系VAT亚洲仓库（新加坡/上海）查询库存。
常供货型号：
商品编号61340-PACE-0001
商品编号61348-PACN-0001
商品编号61338-PEAN-0001
商品编号61348-PAAF-0001
商品编号61346-PAGQ-0001
商品编号61346-PEGQ-0001
商品编号61348-PEAF-0001
商品编号61332-KEAF-0001
商品编号61338-PEAE-0001
商品编号61348-PECN-0001
商品编号61340-PECE-0001
商品编号61344-PAAX-0001
商品编号61344-PEAX-0001
商品编号61350-PAAK-0001
商品编号61338-PAAN-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
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