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更新时间:2025-07-17
厂商性质:经销商
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
型号:61348-PEGH-0001
类型:高真空蝶形控制阀(Pneumatically Actuated)
制造商:VAT Group(瑞士)
系列:61系列(高性能蝶阀,适用于严苛环境)
真空范围:
工作压力:10⁻⁹ mbar 至 大气压(超高真空兼容)
漏率:<1×10⁻⁹ mbar·l/s(金属密封版)
密封选项:
标准:氟橡胶(FKM,耐等离子体腐蚀)
可选:全金属密封(无弹性体,适用于高温/强腐蚀环境)
阀体材质:不锈钢 316L(表面电解抛光,Ra ≤ 0.8 μm)
法兰标准:ISO-KF、CF 或定制法兰(SEMI标准兼容)
驱动方式:气动执行(单/双作用可选)
响应时间:<100 ms(全开至全关)
标准温度:-20°C 至 +150°C
高温版本:可选 +250°C(需指定金属密封)
烘烤兼容性:支持 ≤150°C 持续烘烤
刻蚀设备(Etch):
用于 Cl₂、HBr、SF₆ 等腐蚀性气体隔离,耐等离子体侵蚀。
薄膜沉积(CVD/ALD/PVD):
快速调节反应气体流量,金属密封版适用于WF₆等高活性前驱体。
离子注入(Implant):
超高真空隔离,确保束线洁净度。
晶圆传输系统:
负载锁(Loadlock)与传输腔室之间的快速压力控制。
特性 | 61348-PEGH-0001 | VAT 47.1(直通阀) | VAT 54.1(角阀) |
---|---|---|---|
阀体类型 | 蝶形阀(流量调节) | 直通阀(隔离) | 角阀(隔离) |
速度 | 超快(<100 ms) | 快(200 ms) | 中等(500 ms) |
密封选项 | FKM/金属密封 | 弹性体密封 | 金属密封 |
适用场景 | 动态气体控制 | 真空隔离 | 高真空隔离 |
法兰对齐:需使用无应力安装工具,避免阀体变形影响密封。
气源要求:驱动气压 4–6 bar(需洁净干燥空气或氮气)。
测试:空载开闭循环 ≥3 次,确认无卡滞。
常规检查:
每3个月检查密封面洁净度(可用IPA擦拭)。
每6个月测试漏率(氦质谱检漏仪)。
寿命指标:
弹性体密封:约50万次循环。
金属密封:>100万次循环(需定期润滑)。
问题:阀门响应慢
→ 检查气源压力或执行机构是否泄漏。
问题:真空漏率升高
→ 清洁密封面或更换密封圈(避免使用尖锐工具)。
定制选项:
可提供带位置反馈(模拟量/数字信号)版本。
支持氟化涂层(如PTFE)以增强耐腐蚀性。
交期:
标准型号:8–12周(瑞士生产);
紧急订单:可联系VAT亚洲仓库(新加坡/上海)查询库存。
常供货型号:
商品编号61340-PACE-0001
商品编号61348-PACN-0001
商品编号61338-PEAN-0001
商品编号61348-PAAF-0001
商品编号61346-PAGQ-0001
商品编号61346-PEGQ-0001
商品编号61348-PEAF-0001
商品编号61332-KEAF-0001
商品编号61338-PEAE-0001
商品编号61348-PECN-0001
商品编号61340-PECE-0001
商品编号61344-PAAX-0001
商品编号61344-PEAX-0001
商品编号61350-PAAK-0001
商品编号61338-PAAN-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61348-PEGH-0001
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