瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KAAF-0001

VAT高真空蝶形控制阀61332-KAAF-0001详细技术解析

产品基本规格

• 型号：61332-KAAF-0001

• 类型：高真空蝶形控制阀

• 制造商：VAT Group（瑞士）

• 系列：61系列高温应用阀门

关键性能参数

1. 真空范围：

• 工作压力：10⁻⁹ mbar至大气压

• 漏率：<1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封）

2. 温度特性：

• 标准工作温度：-20°C至+150°C

• 高温版本可选：最高可达+250°C

• 烘烤温度：最高+150°C（持续）

3. 机械特性：

• 标准：氟橡胶(FKM)

• 可选：全金属密封(适用于高温/腐蚀环境)

• 阀体材料：不锈钢316L

• 密封材料：

• 法兰标准：ISO-KF、CF或客户定制

4. 控制特性：

• 控制方式：气动执行（标准）

• 响应时间：<100ms（全开至全关）

• 位置反馈：可选模拟量(0-10V)或数字信号

半导体行业典型应用

1. 刻蚀设备：

• 用于Cl₂、HBr等腐蚀性气体环境

• 在等离子体刻蚀腔室的真空隔离

2. 薄膜沉积系统：

• CVD/PVD设备的真空维持

• ALD系统的快速气体切换

3. 离子注入机：

• 束线隔离与真空分段控制

4. 晶圆传输系统：

• 负载锁(Loadlock)的快速抽真空控制

替代型号参考

维护与使用注意事项

1. 安装要求：

• 需使用专用安装夹具避免阀体变形

• 法兰连接需使用高纯度无尘密封圈

2. 操作规范：

• 使用前需进行至少3次空载开闭测试

• 系统抽真建议手动预关闭阀门

3. 维护周期：

• 常规维护：每6个月检查密封性

• 全面检修：每50万次循环或2年（以先到为准）

4. 故障排查：

• 常见问题：响应延迟（检查气源压力）

• 漏率增大（检查密封面清洁度）

• 常供型号：

• 商品编号61328-KACN-0001

• 商品编号61344-PACF-0001

• 商品编号61332-KECN-0001

• 商品编号61328-KAAQ-0001

• 商品编号61344-PECF-0001

  商品编号61332-KACN-0001

• 商品编号61328-KEAQ-0001

• 商品编号61344-PECQ-0001

• 商品编号61328-KAAF-0001

• 商品编号61348-PAGH-0001

• 商品编号61332-KAGH-0001

• 商品编号61328-KEAF-0001

• 商品编号61328-KECN-0001

• 商品编号61332-KEGH-0001

• 商品编号61338-PAGE-0001
  

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KAAF-0001