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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61340-PACX-0001
型号：61340-PACX-0001
类型：气动高真空蝶形控制阀（金属密封，快响应型）
品牌：VAT Group（瑞士，专精超高真空解决方案）
核心定位：面向半导体、光伏及科研领域的高动态流量控制场景
材质组合：
阀体：316L不锈钢（电解抛光，Ra ≤ 0.5 μm）
蝶板：钛合金镀Al₂O₃（抗等离子体腐蚀，适用于刻蚀/CVD工艺）
密封：全金属密封（金包覆不锈钢，漏率 <1×10⁻⁹ mbar·l/s）
执行机构：
气动驱动（双作用），响应时间 <50 ms（一梯队）
可选电动执行器（步进电机，开度控制精度 ±0.1%）
反馈系统：
标配模拟量输出（0-10V对应0-100%开度）
可选数字通信（PROFIBUS DP或DeviceNet）
法兰标准：
ISO-KF（DN40至DN160）、CF（2.75"至8"）
支持SEMI标准定制（如NW法兰）
接口选项：
气路接口：1/4" NPT或Swagelok VCR
电气接口：M12航空插头（IP67防护）
| 参数类别 | 技术指标 | 测试条件 |
|---|---|---|
| 真空范围 | 10⁻¹⁰ mbar 至 大气压 | 氦质谱检漏（金属密封） |
| 流量系数（Cv） | 1.2 | 空气介质，ΔP=1 bar |
| 耐温性 | -20°C 至 +200°C（金属密封） | 烘烤模式（持续48小时） |
| 耐腐蚀性 | 兼容Cl₂、HBr、WF₆等（需指定镀层） | ASTM G31加速腐蚀测试 |
| 机械寿命 | >10⁶次循环（金属密封） | MIL-STD-810G振动测试 |
功能：腐蚀性气体快速切断（如Cl₂/HBr等离子体环境）
定制需求：Al₂O₃镀层蝶板 + 双密封结构（冗余设计）
优势：
超快响应（<30 ms脉冲控制）匹配前驱体脉冲注入
漏率 <5×10⁻¹⁰ mbar·l/s 确保薄膜纯度
关键指标：
无磁化设计（钛合金材质）避免束流干扰
XHV级密封（烘烤后漏率维持10⁻¹⁰ mbar·l/s）
| 型号 | 61340-PACX-0001 | 61332-KEAF-0001 | 61348-PEGH-0001 |
|---|---|---|---|
| 密封类型 | 金属密封 | 金属密封 | PTFE密封 |
| 响应速度 | <50 ms | <100 ms | <80 ms |
| 耐温上限 | +200°C | +150°C | +120°C |
| 适用工艺 | 刻蚀/离子注入 | CVD/传输 | 非腐蚀性气体 |
扭矩控制：
法兰螺栓扭矩 ≤15 Nm（ISO-KF）、≤25 Nm（CF）
对中要求：
轴向偏差 <0.1 mm，角度偏差 <0.5°
预防性维护：
每50万次循环检查密封面磨损（原厂提供磨损检测工具包）
深度保养：
每2年更换驱动机构润滑脂（VAT专用真空润滑脂 P/N: LUB-VAC-002）
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61340-PACX-0001
Q：能否兼容EUV光刻机的真空环境？
→ 可以，但需选配特殊洁净版（后缀加“-EUV"，颗粒释放率降低50%）
Q：与MKS 649B的互换性？
→ 需验证法兰接口和控制信号匹配，通常需转接板（VAT提供适配方案）
Q：最小订单量（MOQ）？
→ 原厂1台起订，批量（≥5台）可享8%折扣
优势供应：
商品编号61328-KAGH-0001
商品编号61328-KEGH-0001
商品编号61346-PEAH-0001
商品编号61332-KEAK-0001
商品编号61346-PACE-0001
商品编号61348-PEAX-0001
商品编号61328-KEGE-0001
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