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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61334-KEAE-0001
型号：61334-KEAE-0001
类型：高真空蝶形控制阀（气动驱动，金属密封）
品牌：VAT Group（瑞士 真空阀门制造商）
适用领域：半导体、光伏、真空镀膜、科研设备等
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 真空范围 | 10⁻⁹ mbar 至 大气压（超高真空兼容） |
| 漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封） |
| 阀体材质 | 316L不锈钢（电解抛光，Ra ≤ 0.8 μm） |
| 密封材质 | 全金属密封（金包覆不锈钢，耐高温烘烤） |
| 驱动方式 | 气动执行（单/双作用可选） |
| 响应时间 | <100 ms（全开至全关） |
| 温度范围 | -20°C 至 +150°C（标准），可选高温版（+250°C） |
| 法兰标准 | ISO-KF、CF 或定制（SEMI标准兼容） |
| 控制信号 | 可选4-20mA / 0-10V 反馈，或数字通信（RS485） |
✅ 超高真空性能
适用于XHV（10⁻⁹ mbar）环境，满足半导体ALD、离子注入等严苛工艺需求。
✅ 耐腐蚀设计
金属密封（可选PTFE增强涂层），兼容Cl₂、HBr、WF₆等腐蚀性气体。
✅ 快速响应
<100 ms开关速度，适用于动态气体控制（如CVD脉冲沉积）。
✅ 长寿命
机械寿命 >10⁶次循环，维护周期长，降低设备停机时间。
| 行业 | 设备/工艺 | 作用 |
|---|---|---|
| 半导体 | 刻蚀（Etch）、ALD/CVD | 高真空隔离，气体流量精准控制 |
| 光伏 | PECVD、溅射镀膜 | 快速抽真空，维持腔室压力稳定 |
| 科研 | 同步辐射、电子显微镜 | 超高真空环境下的气流调节 |
法兰对接：使用无应力安装工具，避免阀体变形（扭矩≤10 Nm）。
气路连接：确保气源洁净（推荐0.1 μm过滤器）。
常规检查：每3个月检查密封面磨损情况。
深度维护：每2年或50万次循环后更换密封组件（原厂维修包可选）。
Q1：能否替代61332-KEAF-0001？
→ 可以，但需确认密封材质是否匹配（KEAF为金属密封，其他型号可能不同）。
Q2：是否支持EUV光刻机应用？
→ 支持，但需选配超洁净版本（低颗粒释放，需特殊订货）。
Q3：最小起订量（MOQ）？
→ 原厂1台起订
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61334-KEAE-0001
商品编号61336-PAAE-0001
商品编号61336-PEGF-0001
商品编号61338-PAGX-0001
商品编号61336-PECX-0001
商品编号661334-KACX-000
商品编号61340-PEGF-0001
商品编号61340-PEGQ-0001
商品编号61338-PEAK-0001
商品编号61344-PEAE-0001
商品编号61328-KEAX-0001
商品编号61332-KEAX-0001
商品编号61328-KEGF-0001
商品编号61348-PECK-0001
商品编号61346-PEGX-0001
商品编号61344-PACX-0001
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