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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
访 问 量 ：70
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瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔离阀组合单元
型号：VAT 95.3
类型：集成式高真空阀组（控制阀+隔离阀组合）
品牌：VAT Group（瑞士真空技术专家）
设计理念：紧凑型模块化设计，减少管路连接点，提升系统可靠性
典型应用：半导体刻蚀/沉积设备、光伏镀膜系统、科研真空装置
| 组件 | 技术特性 |
|---|---|
| 主控制阀 | VAT 54.1系列金属密封角阀（漏率<1×10⁻⁹ mbar·l/s） |
| 隔离阀 | VAT 10.4系列闸阀（快开型，响应时间<100ms） |
| 集成法兰 | ISO-KF/CF标准，可选DN40~200口径 |
| 传感器接口 | 预留真空计/压力传感器安装位（支持Pirani/电容式） |
| 控制模块 | 可选本地PLC或远程通信（PROFIBUS/DeviceNet） |
| 参数 | 指标 | 测试标准 |
|---|---|---|
| 真空范围 | 10⁻⁹ mbar ~ 大气压 | DIN 28400 |
| 整体漏率 | <5×10⁻⁹ mbar·l/s | 氦质谱检漏 |
| 温度适应性 | -20°C ~ +150°C（烘烤兼容） | SEMI F47 |
| 材料兼容性 | 316L不锈钢+Al₂O₃镀层（耐等离子体） | ASTM G31 |
| 循环寿命 | >10⁶次（主阀） | MIL-STD-810G |
① 系统集成优化
减少传统分立阀门间的连接法兰，漏率降低50%
内置流道优化设计，流阻系数降低30%
② 智能控制功能
可选配阀位传感器（精度±0.5%）
支持压力-流量闭环控制（需搭配MFC）
③ 维护便捷性
模块化设计，单个阀门更换时间<30分钟
正面维护接口，无需拆卸整个真空腔室
| 设备类型 | 功能实现 | VAT 95.3定制方案 |
|---|---|---|
| 等离子刻蚀机 | 工艺腔室压力分段控制 | 增加WF₆专用镀层 |
| ALD系统 | 前驱体气体脉冲注入 | 集成快速响应阀（<30ms） |
| 离子注入机 | 束线真空隔离 | 无磁化材料版本 |
安装规范：
使用激光对中仪确保安装平面度<0.1mm/m
所有螺栓按十字交叉顺序紧固（扭矩值见下表）
| 法兰规格 | 扭矩值（Nm） | 紧固顺序 |
|---|---|---|
| ISO-KF DN63 | 8~10 | 对角线渐进 |
| CF 4.5" | 15~18 | 星型模式 |
调试流程：
初始抽真空至10⁻³ mbar，保压测试24小时
进行50次空载循环测试
校准压力传感器零点
| 维护项目 | 周期 | 操作规范 |
|---|---|---|
| 密封面检查 | 每季度 | 使用VAT专用内窥镜（P/N：INS-100） |
| 润滑脂更换 | 每10⁵次循环 | 使用VAC-LUBE 200特种润滑脂 |
| 全面性能检测 | 年度 | 需原厂认证工程师执行 |
瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔离阀组合单元
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