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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
访 问 量 ：69
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61338-PECK-0001
型号：61338-PECK-0001
类型：气动高真空蝶形调节阀（金属密封，快响应型）
品牌：VAT Group（瑞士真空阀门技术）
产品定位：面向半导体制造和科研设备的超高真空动态控制
核心特点：
超高真空兼容性（XHV级）
耐等离子体腐蚀设计
毫秒级快速响应
| 参数 | 技术指标 |
|---|---|
| 真空范围 | 10⁻¹⁰ mbar ~ 大气压 |
| 漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s（金属密封版） |
| 阀体材质 | 316L不锈钢（电解抛光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材质 | 钛合金镀Al₂O₃（可选） |
| 密封类型 | 全金属密封（金包覆Inconel） |
| 驱动方式 | 双作用气动（4-6 bar） |
| 响应时间 | <50 ms（全开至全关） |
| 温度范围 | -20°C ~ +200°C（标准） |
| 法兰标准 | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制接口 | 4-20mA/PROFIBUS DP（可选） |
① 等离子体防护系统
可选Al₂O₃或Y₂O₃镀层，耐受Cl₂/HBr/SF₆等离子体腐蚀
流道优化设计，颗粒释放率<5 particles/m³（≥0.1μm）
② 超快动态响应
优化气路设计，实现<50ms开关速度
位置反馈精度±0.5%（可选±0.1%高精度版）
③ 智能诊断功能
集成温度/振动传感器（预测性维护）
支持工业4.0通信协议（OPC UA可选）
| 行业 | 具体应用 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 半导体制造 | 原子层沉积(ALD) | 脉冲响应<50ms |
| 等离子刻蚀(Etch) | 耐Cl₂/HBr腐蚀 | |
| 光伏设备 | PECVD系统 | 大流量调节（Cv=1.5） |
| 科研装置 | 同步辐射光源 | 无磁化设计 |
| 真空镀膜 | 溅射镀膜系统 | 高精度压力控制 |
安装要求：
使用激光对中仪确保安装偏差<0.1mm
气路配置0.1μm过滤器（VAT P/N: FLT-100M）
运行前进行5次空载循环测试
维护计划：
每季度：密封面检查（使用VAT专用内窥镜）
每10⁶次循环：更换驱动机构密封件
年度保养：氦质谱检漏测试（建议原厂服务）
| 特性 | 61338-PECK-0001 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 |
|---|---|---|---|
| 响应速度 | <50 ms | <30 ms | <50 ms |
| 耐温性 | +200°C | +250°C | +200°C |
| 密封设计 | 单金属密封 | 双冗余密封 | 单金属密封 |
| 典型应用 | 通用真空系统 | EUV/ALD | 刻蚀设备 |
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61338-PECK-0001
商品编号61338-PACN-0001
商品编号61336-PEGK-0001
商品编号61338-PEAF-0001
商品编号61340-PAAE-0001
商品编号61344-PEGK-0001
商品编号61336-PECQ-0001
商品编号61334-KAGQ-0001
商品编号61336-PAGN-0001
商品编号61334-KEAK-0001
商品编号61334-KEGN-0001
商品编号61334-KAGK-0001
商品编号61338-PAM1-0001
商品编号61340-PAGN-0001
商品编号61338-PACH-0001
商品编号61338-PAGF-0001
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