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更新时间：2025-07-17
厂商性质：经销商
访 问 量 ：74
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瑞士VAT高真空蝶形控制阀61344-PEGN-0001
型号：61344-PEGN-0001
类型：气动高真空蝶形调节阀（金属密封，快响应型）
品牌：VAT Group（瑞士真空阀门技术）
核心特点：超高真空兼容性、耐等离子体腐蚀、毫秒级响应
适用领域：半导体刻蚀/ALD、光伏镀膜、科研真空系统
| 参数 | 技术指标 |
|---|---|
| 真空范围 | 10⁻¹⁰ mbar ~ 大气压（XHV级） |
| 漏率 | <5×10⁻¹⁰ mbar·l/s（金属密封版） |
| 阀体材质 | 316L不锈钢（电解抛光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材质 | 钛合金镀Al₂O₃（抗等离子体腐蚀） |
| 密封类型 | 全金属密封（金包覆Inconel） |
| 驱动方式 | 双作用气动（可选电动执行器） |
| 响应时间 | <30 ms（全开至全关） |
| 温度范围 | -20°C ~ +250°C（烘烤兼容） |
| 法兰标准 | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制信号 | 4-20mA/PROFIBUS DP（可选） |
① 等离子体防护设计
Al₂O₃镀层蝶板可耐受Cl₂/HBr/SF₆等离子体侵蚀
特殊流道设计减少颗粒生成（符合SEMI F47标准）
② 超快动态响应
优化气路设计实现<30ms开关速度
适用于ALD设备的脉冲式气体控制
③ 智能控制系统
集成高精度位置传感器（分辨率0.1%）
可选数字通信接口（支持远程监控）
| 设备类型 | 功能角色 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 原子层沉积(ALD) | 前驱体气体脉冲控制 | 响应时间<50ms |
| 等离子刻蚀(Etch) | 腐蚀性气体隔离 | Al₂O₃镀层+双密封 |
| 离子注入机 | 束线真空分段控制 | 无磁化设计（钛合金材质） |
| EUV光刻机 | 真空维持与颗粒控制 | 超洁净版本（特殊表面处理） |
安装规范：
使用激光对中仪确保阀体安装偏差<0.05mm
气路需配置0.1μm过滤器（VAT P/N: FLT-100M）
使用前进行10次空载循环测试
维护计划：
每季度：密封面清洁（使用VAT专用清洁剂）
每50万次循环：更换驱动机构润滑脂
每2年：氦质谱检漏测试（建议原厂校准）
| 特性 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 | 61332-KEAF-0001 |
|---|---|---|---|
| 响应速度 | <30 ms | <50 ms | <100 ms |
| 耐温性 | +250°C | +200°C | +150°C |
| 密封类型 | 金属+二次密封 | 金属密封 | 金属密封 |
| 典型应用 | EUV/ALD | 刻蚀设备 | 通用真空系统 |
SEMI F47（电压暂降免疫）
CE/UL/ROHS认证
ISO 14644-1 Class 4洁净度
商品编号61346-PAAK-0001
商品编号61334-KAAH-0001
商品编号61340-PACQ-0001
商品编号61336-PEAH-0001
商品编号61340-PEAH-0001
商品编号61344-PEAQ-0001
商品编号61346-PEGF-0001
商品编号61328-KECQ-0001
商品编号61332-KEGE-0001
商品编号61348-PECF-0001
商品编号61332-KECF-0001
商品编号61350-PACE-0001
商品编号61346-PECH-0001
商品编号61346-PEM1-0001
商品编号61336-PEGQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制阀61344-PEGN-0001
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